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ダイヤ代替のコランダム製切削工具を開発 日本ファインテック 液晶半導体製造装置向け
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液晶・半導体製造装置メーカーの日本ファインテック株式会社(宮若市上有木、平田祐輔社長)は、九州工業大学などと共同でダイヤモンドに次ぐ硬度の鉱石「コランダム」製の切削工具を開発した。
同工具は液晶や半導体装置の一部で真空空間の「真空チャンバー」の加工に使用する。価格がダイヤモンドに比べ3分の1から半分程度のコランダム製の工具に切り替えることで、海外の安価な半導体製造装置に対し競争力を高める。
コランダムは酸化アルミニウム鉱物でモース硬度9(ダイヤモンドは10)だが、単結晶構造のため一定方向からの力に弱い特徴があり、工具として使用するのは難しかった。同社は九州工業大学(北九州市戸畑区)と工具刃先加工業の機械電子研究所(同市八幡西区)、研削加工の株式会社サンテック(鞍手郡鞍手町)との4社共同でコランダム製の刃先が割れにくい角度や加工技術を研究開発した。将来的には外販していく考え。平田大輔専務は「さらなる工具性能の向上を目指す」と話している。