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ものづくり日本大賞の九州経済産業局長賞受賞  九州三井アルミニウム工業    独自の素材、技術が評価


 高純度アルミでシェアトップレベルの九州三井アルミニウム工業株式会社(大牟田市四山町、蓮尾勇次社長)は、7月29日、九州経済産業局主催の「ものづくり日本大賞」で九州経済産業局長賞を受賞した。
 半導体プラズマ装置に使用するアルミ部品の表面処理について、異物の混入や金属汚染を防止できる独自の素材から表面処理に至るまでの技術を開発したことが受賞理由となった。同部材は、コーナー部の亀裂を防止し、汚染や部品の寿命で競争力に優れ、半導体業界で重要な技術となること、独自の高純度素材で形成した皮膜を剥離し、数百度の高温に耐えるナノサイズの濾過機能をもつ薄膜を開発したことが評価された。
 受賞者は蓮尾俊治半導体機器事業部製品技術部技術担当部長ほか3人。蓮尾俊治さんは「コーナーに亀裂のない皮膜を形成することは物理的にできないと一時思ったが、全員が諦めずに実験を繰り返したことが結果につながったと思う。ナノサイズの薄膜も様々な利用が考えられ、広い分野で役に立てれば」と話している。「ものづくり日本大賞」は、日本の産業と文化を支えてきたものづくりを継承、発展させるため、ものづくりを支える人材の意欲を高め、その存在を広く社会に知らしめることを目的に創設された内閣総理大臣総表彰制度。06年度から2年に1度開催している。